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非标样品制备系统
非标MBE分子束外延系统
生长化合物半导体高纯度外延膜，可用于研发复杂光电器件和高温超导材料
 
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商品详情
技术参数：
1、可生产厚度、掺杂与成分可控的外延层
2、本底真空度优于5×10-8 Pa
3、5轴manipulator，可将基片加热至最高2000℃或冷冻至液氦温度
4、Load Lock腔配备300L/s的磁悬浮分子泵，可快速抽空
5、可选配反射高能电子衍射仪(RHEED)，实现成膜过程的原 位监测，实时分析
6、兼容2至4 in标准晶圆(Wafer)
7、标准束源炉坩埚材料: PBN
北京顺迎科技有限公司
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