仪器介绍:
一个非标XPS / UPS / AES能谱分析系统可根据用户的实验需求，采用不同能量的激发源，以获得样品表面不同深度的各类信息，如元素种类和含量，化学环境和价态研究领域：
1、微电子领域：由于表面或界面的性质对元器件的性能有非常大的影响，因此需要对材料及工艺过程进行质量控制及分析，注入和扩散分析。
2、催化领域：材料表面化学反应和活性，催化剂中毒机理研究。
3、凝聚态物理：键结构，表面电子态，晶体能带结构，吸附，脱附，迁移，扩散。
4、薄膜领域：超导膜，太阳能电池膜、层间扩散，离子注入。
